| СЭМ-микроскоп CIQTEK SEM2100 |
| Электронная оптика |
Разрешение |
3 нм при 20 кВ, SE
4 нм при 20 кВ, BSE |
| Ускоряющее напряжение |
0,2 кВ ~ 30 кВ |
| Увеличение (Polaroid) |
1 x ~ 300 000 x |
| Камера для образцов |
Камера |
Оптическая навигация |
| Мониторинг камер |
| Тип сцены |
3-осевой, XYZ-осевой, совместимый с вакуумом, моторизованный |
| Диапазон XY |
125 мм |
| Диапазон Z |
50 мм |
| Детекторы СЭМ |
Стандартный |
Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) |
| Необязательный |
Выдвижной детектор обратно рассеянных электронов (BSED)
Энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX)
Картина дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) |
| Необязательный |
Шлюз для обмена образцами |
| Панель управления с трекболом и ручкой |
| Пользовательский интерфейс |
Операционная система |
Окна |
| Навигация |
Оптическая навигация, быстрая навигация жестами, трекбол (опционально) |
| Автоматические функции |
Автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор |