FESEM сверхвысокого разрешения | SEM5000X

Сканирующая электронная микроскопия сверхвысокого разрешения с полевой эмиссией (FESEM)

The CIQTEK SEM5000X представляет собой сверхвысокоразрешающий FESEM с оптимизированной конструкцией электронно-оптической колонны, снижающей общие аберрации на 30%, достигая сверхвысокого разрешения 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ. Его высокое разрешение и стабильность делают его выгодным в передовых исследованиях наноструктурных материалов, а также в разработке и производстве высокотехнологичных узловых полупроводниковых ИС-чипов.

 Электронная оптика

Модернизация объектива

Хроматическая аберрация линзы была снижена на 12%, сферическая аберрация линзы была снижена на 20%, а общая аберрация была снижена на 30%.

Технология торможения двойным лучом

Замедление луча в линзе, применимое к образцам с большими объемами, поперечными сечениями и неровными поверхностями. Технология двойного замедления (замедление луча в линзе + тандемное замедление луча на столике образца) бросает вызов ограничениям сценариев захвата сигнала с поверхности образца.

▶ Изображения с высоким разрешением при низком напряжении

• 

  Внутрилинзовое изображение электронного детектора при низком напряжении возбуждения 200 В позволяет получить неразрушающую морфологическую характеристику структур волокон литий-ионной полимерной мембраны.

• 

  Характеристика структуры пор мезопористого материала на основе кремния SBA-15, изображение, полученное с помощью внутрилинзового детектора электронов при низком напряжении 500 В без проводящего покрытия (в режиме двойного замедления с замедлением пучка в линзе + тандемным замедлением пучка на предметном столике).

▶ Внутрилинзовый электронный детектор / образец

• 

• 

  Молекулярное сито ZSM-8, типичный катализатор в различных передовых областях исследований. Низковольтная визуализация без проводящего покрытия обеспечивает прямую характеристику деталей поверхности частиц молекулярного сита.

▶ Детектор Эверхарта-Торнли (ETD)

• 

• 

  Керамические нанолисты BN, раскрывают структуру слоев с помощью низковольтного ETD-изображения

▶ Выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) *Необязательный

• 

  Высокоэнтропийный сплав Порошок / 10 кВ

• 

  Клетки мозговой ткани мыши / 10 кВ

• 

  Стальные включения / 15 В

▶ Режим ECCI на основе BSED (электронно-канальная контрастная визуализация)

«Эффект каналирования электронов» означает значительное уменьшение рассеяния электронов кристаллическими решетками, когда падающий электронный пучок удовлетворяет условию дифракции Брэгга, позволяя большому количеству электронов проходить через решетку, тем самым проявляя эффект «каналирования».

Для поликристаллических материалов с однородным составом и полированными плоскими поверхностями интенсивность обратно рассеянных электронов зависит от относительной ориентации между падающим электронным пучком и кристаллическими плоскостями. Зерна с большим изменением ориентации демонстрируют более сильные сигналы, поэтому более яркие изображения, качественная характеристика с такой картой ориентации зерен достигается.

• 

  Сплавы, напечатанные на 3D-принтере (подготовленные с помощью ионно-лучевой полировки)

• 

  Нержавеющая сталь (подготовленная с помощью ионно-лучевой полировки)

▶ Одновременная многоканальная визуализация с помощью различных детекторов

• 

  Высокое разрешение было достигнуто при исследовании топографических особенностей поверхности с помощью внутрилинзового электронного детектора.

• 

  Хорошие стереоскопические изображения морфологических признаков с помощью детектора Эверхарта-Торнли

• 

  Изображение с контрастом атомного числа (Z-контраст) с использованием выдвижного детектора обратно рассеянных электронов

▶ Выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (СТЭМ)

>> Несколько режимов работы: Визуализация в светлом поле (BF), Визуализация в темном поле (DF), Визуализация в темном поле под большим углом (HAADF)

• 

  Визуализация среза растения в светлом поле (STEM-BF)

• 

  Темнопольная визуализация среза растения (STEM-DF)

• 

  Изображение с контрастом атомного числа (Z-контраст) с выдвижным детектором обратно рассеянных электронов

▶ Достижения в области электронной микроскопии CIQTEK — больше возможностей

>> Энергодисперсионная спектрометрия

>> Католическая люминесценция

>> ЭБСД

• 

• 

• Технические характеристики микроскопа CIQTEK SEM5000X FESEM
  Электронная оптика	Разрешение	0,6 нм при 15 кВ, SE 1,0 нм при 1 кВ, SE
  	Ускоряющее напряжение	0,02 кВ ~30 кВ
  	Увеличение	1 ~ 2 500 000 х
  	Тип электронной пушки	Электронная пушка с автоэмиссией Шоттки
  Камера для образцов	Камеры	Двойные камеры (оптическая навигация + монитор камеры)
  	Тип сцены	5-осевой механический эвцентрический предметный столик
  	Диапазон сцен	X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм Т: -10*~+70°, П: 360°
  Детекторы и расширения SEM	Стандарт	Детектор в линзе Детектор Эверхарта-Торнли (ETD)
  	Необязательный	Выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) Выдвижной сканирующий просвечивающий электронный микроскоп (STEM) Детектор низкого вакуума (LVD) Энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) Картина дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) Загрузочный шлюз для обмена образцами (4 дюйма / 8 дюймов) Панель управления с трекболом и ручкой Режим Duo-Dec (Дуо-Дек)
  Пользовательский интерфейс	Языки	Английский
  	Операционная система	Окна
  	Навигация	Оптическая навигация, быстрая навигация жестами, трекбол (опционально)
  	Автоматические функции	Автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор